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    膜厚測量

    發布時間:2019-08-02 08:22:15

          薄膜測量系統是專門針對半導體、材料、生物醫學薄膜的實驗室分析及在線監測開發的,用于測量薄膜反射率及膜層厚度的綜合測量系統。該系統基于白光反射及干涉的原理來確定光學薄膜的厚度??梢酝ㄟ^對白光干涉圖樣進行數學運算來計算出薄膜厚度。對于單層膜來說,如果已知薄膜的n和k值就可以計算出它的物理厚度。

          AvaSoft-Thinfilm軟件內有一個包含大部分常用材料和膜層的n值和k值的數據庫。TFProbe多層膜測量軟件可以測量多達5層膜的厚度和光學常數(n、k值),實現實時或在線膜厚和折射率監控。

    參數指標:

    • 光譜范圍 200~1100nm 測量速度 2 ms minimum

    • 膜厚范圍 10nm~200μm基底厚度up to 50mm thick

    • 分辨率 1nm 測量精度 better than 0.25




    典型應用領域:

    • Semiconductor fabrication (PR, Oxide, Nitride..) 半導體制造

    • Liquid crystal display (ITO, PR, Cell gap…..) 液晶顯示器

    • Forensics, Biological films and materials 醫學、生物薄膜或材料

    • Inks, Mineralogy, Pigments, Toners 印刷油墨,礦物學,顏料,碳粉

    • Pharmaceuticals, Medial Devices 制藥

    • Optical coatings, TiO2, SiO2, Ta2O5….. 光學薄膜

    • Semiconductor compounds 半導體化合物

    • Functional films in MEMS/MOEMS 功能薄膜材料

    • Amorphous, nano and crystalline Si 非晶硅

          

          AvaSoft-Thinfilm應用系統可以搭配多種應用系統附件,例如光纖多路復用器、顯微鏡、過真空裝置等附件,實現多點位同時測量、微區測量、過程監控等復雜領域的應用。 例如:AvaSoft-Thinfilm應用系統能夠實時監控膜層厚度,并且可以與其他AvaSoft應用軟件如XLS輸出到Excel軟件和過程監控軟件一起使用。


     


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